电真空器件中排气台对真空系统的要求

电真空器件中排气台对真空系统的要求

电真空器件的排气是在排气台上进行的。对于微波管的排气台来说，根据烘箱的种类可以分为普通排气台(单真空排气台)和双真空排气台;根据所能达到的真空度也可以分为高真空排气台和超高真空排气台。不论哪种排气台，一般都应该包括真空抽气系统、真空测量装置、加热去气设备、电源及控制机构等部分。

真空系统是排气台的核心部分，器件内部的空气依赖真空系统抽走并达到一定真空度。真空系统由真空泵、连接管道、真空阀门以及辅助装置等组成。

对真空系统的要求

对真空系统的一般要求是:

(1)真空度要求。对真空系统最基本的要求就是能达到所需要的真空度，包括系统本身的极限真空度和被抽器件所能达到的真空度。一般来说，器件内部能达到的真空度低于系统的极限真空度，所以选择排气台真空系统时，应该保证系统的极限真空度比器件所要求的真空度高。

系统的极限真空主要取决于真空泵的极限真空度，真空系统的密封性和去气的彻底性。

(2)系统应该具有所需要的抽气速率。抽速的大小决定了器件排气的时间，提高抽速就可以缩短排气时间，提高劳动生产率。金属结构的微波管在排气中会放出大量气体，也必须有足够的抽速及时把零件放出的气体排走，减少其他零件再次吸附气体和引起阴极中毒的可能。但是，抽速应与被抽器件的容积相适应，过大的抽速会增加设备成本以及水、电等消耗，相应增加器件的成本，造成浪费。

系统的抽速不仅取决于真空泵的抽速，还与系统的连接管道以及真空阀门等零件的导通能力有关。

(3)真空系统应该结构简单、可靠，尽可能操作维护方便，希望噪声低、无污染、成本低。

为了满足上述要求，必须根据器件的大小、复杂程度、所用材料等实际情况，综合考虑各方面的因素，合理选择真空泵、真空计、真空阀门、真空管道以及其他装置。